范德贝尔摆了摆手。
“问题等会儿再说,先看完。”
屏幕上切出第二组数据。
分辨率测试:45纳米线宽,清晰,没有畸变。
第三组,套刻精度:3。2纳米。
范德贝尔指着屏幕。
“这意味着,EUV光刻技术从实验室走向了工程验证阶段。我们距离量产只差最后一步。”
掌声又起来了。
发布会结束,记者围上去。
范德贝尔回答了十二个问题。最后一个,金融时报的记者问。
“首批量产设备的客户名单,能透露吗?”
范德贝尔笑了一下。
“首批设备将优先供应我们的长期合作伙伴——台积电,三星,英特尔。至于亚洲其他地区的客户,目前没有计划。”
这句话当天晚上就上了所有科技媒体的头条。
彭博的标题。
“ASmL宣布EUV光刻机突破关键里程碑:亚洲客户被排除在首批名单外”
京城,后海。
下午三点。
张红旗坐在地下室。
面前一台电脑,屏幕上放的是ASmL发布会的网络直播回放。
他从头看到尾,看了两遍。
第一遍看范德贝尔说了什么。
第二遍看屏幕上那些数字。
62瓦,13。5纳米,99。2%,45纳米,3。2纳米。
他把这些数字一个一个抄在纸上。
陈默站在旁边,没说话。
张红旗把纸折好,装进信封。
“发鹏城,钱老亲启。今天就寄,用最快的。”
陈默接过去,走了。
五月十号。
鹏城,地下室。
钱院士把ASmL发布会的参数输进了模拟集群。
十台服务器跑了六个小时。
结果出来了。
钱院士把两张曲线图叠在一起。